전자 이동

전문가 제언

전자 이동은 배선의 원자에 전류의 전자가 충돌하여 원자가 이동하고 이것이 쌓여서 파단에 이르는 현상을 전자 이동(Electron Migration, EM)이라고 한다. EM은 원래 반도체 칩의 배선, 특히 트랜지스터 동작의 영향을 받기 쉬운 트랜지스터 배선에서 문제를 발생시키는 경우가 많았고 이에 대한 연구도 활발했다.

저자

Hirokazu Noma, Yasumitsu Orii

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

과학기술일반

연도

2012

권(호)

95(4)

잡지명

電子情報通信學會誌

과학기술
표준분류

과학기술일반

페이지

357~359

분석자

김*창

분석물

• 전자 이동.pdf [210,362 byte]

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