원자층 증착에 의한 세공 크기의 미세조정

전문가 제언

잉크병 형태의 삼차원 세공은 화학증착법(CVD)을 사용하여 세공크기를 조정하려면 세공입구가 먼저 막혀서 내부 바구니(cage) 부분은 크기 조정이 어려워 원자층 층착(ALD, atomic layer deposition) 방법이 적합하며, ALD 과정에서 증착량과 세공 크기 등을 측정하고 제어하는 실험방법을 제시하였다.

저자

Jolien Dendooven, Bart Goris, Kilian Devloo-Casier, Elisabeth Levrau, Ellen Biermans, Mikhail R. Baklanov, Karl F. Ludwig, Pascal Van Der Voort, Sara Bals, and Christophe Detavernier

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

화학·화공

연도

2012

권(호)

24

잡지명

Chemistry of Materials

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

1992~1994

분석자

어*선

분석물

• 원자층 증착에 의한 세공 크기의 미세조정.pdf [202,597 byte]

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