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화학 양론적 조성조절에 의한 3-원소 합금의 제조

전문가 제언: ○ “Stoichimetry”란 단어는 “화학양론”이란 말로 사용하는 화학의 한 분야이다. 화학변화가 일어나면 화합물을 구성하고 있는 원소의 수량적 관계는 한정되어 있다. 임의의 수량적 관계를 가지는 화합물을 “비정비화합물(stoichiometric compound)”, 일정한 수량적 관계를 가지는 화합물을 “정비화합물(non-stoichiometric compound)”이라고 한다.

○ Ta, C, N의 3원소로 구성된 TaCN은 화학결합의 법칙(정비례의 법칙 등)에는 맞지 않은 결합이다. 화학에서 말하는 정확한 의미의 “화합물”은 아니다. 물성면에서 보아 금속에 가깝기 때문에 “합금”으로 명명한 “화학양론화합물”이다. 이런 유형의 구조를 가지는 합금은 전자제품의 소자로 많이 사용하고 있다.

○ 결정성장에서 만들어진 결정체에는 “불순물, 이물질(dopant)”을 첨가하는 경우가 자주 생긴다. 불순물을 첨가한 결정은 고유의 결정격자를 가지는 결정체와는 다르다. 따라서 고유결정의 물성을 가질 수가 없다. 결정성장에서는 의도적으로 화학양론 성장을 하여 원하는 물리적인 물성을 얻는 경우가 많다.

○ 우리나라에서도 중소기업의 연구지원으로 연구기관을 비롯하여 대학에서 소재개발, 특히 반도체 박막에 관한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 최근 들어 박막분야에 관한 학회논문이 두드러지게 발표되고 있다. 특허의 주된 내용은 TaCN 박막 제조용 선구물질 “TBTDET”와 특수 박막 제조장치 “PEALD”을 소개하는데 목적이 있는 것으로 보인다.

저자: Milligan, Robert,B. et al.
자료유형: 특허정보