압전 박막을 이용한 각속도 센서

전문가 제언

각속도 센서는 차량용 내비게이션이나 안전제어 시스템에 사용된다. 또한 디지털 카메라의 손떨림 보정용 등에도 이용되는 핵심 디바이스이다. 이 센서를 소형화, 고성능화하기 위해서 Si를 이용한 소리굽쇠형 각속도 센서가 개발되었다. 여기에 사용되는 진동자에는 압전 박막이 부착되어 있다. 이 압전박막은 PZT 또는 PMN-PZT 성분으로 만들어진다. 최근에는 압전특성이 우수한 무연계 압전재료도 개발되었다.

저자

Eiji Fijii

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

47(6)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

422~425

분석자

허*도

분석물

• 압전 박막을 이용한 각속도 센서.pdf [290,124 byte]

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