박막전극의 제조

전문가 제언

○ 결정성장은 첨단소재를 만드는 기술이다. 1990연대만 하드라도 결정성장이라고 하면 대형결정을 만들어서 물성의 용도에 맞는 방위로 결정을 잘라서 소재, 또는 소자로 만들어 사용하였다. 지금은 “단결정성장”이란 말은 서서히 사라지기 시작하고 “박막성장”이란 말로 바뀌어가고 있다. 전자제품의 경량화, 소형화에 따르는 추세 때문으로 본다.

○ 단결정은 3차원으로 자란다. 단결정은 “결정종자”가 있어야한다. 인위적인 성장이라기보다는 자연적인 성장이다. 사람이 성장분위기(온도, 압력, 용제농도)를 제공하여 준다. 박막은 주로 2차원으로 자란다. “기판”을 필요로 한다. 기판위에 성장시료를 증착한다. 부피를 크게 할 목적으로 박막위에 계속 박막시료를 증착해나가는 인위적인 성장이다.

○ 전자제품의 대부분은 박막적층구조로 되어 있다. 발광다이오드(LED)는 pn-접합에서 일어나는 전자와 양공(positive hole)간에 재결합이 일어나서 가시, 또는 근적외선영역에서 빛의 방출을 위한 반도체 2극소자이다. 반도체의 종류를 다르게 접합하면 광의 색상이 적, 황, 녹 등으로 상의하게 나타난다.

○ 특허의 내용은 기존의 박막제조기술에서 크게 다른 점은 별로 발견되지 않으나, 박막에 해태로(hetero)전극을 증착하는 기술을 소개하는 내용이다. 우리나라에도 박막과 기판용 단결정을 제조하는 기업체가 10여 곳이나 있다. 박막, 또는 단결정성장에 대한 학술활동도 활발하게 이루어지고 있다.

저자

Pieralisi, Fabio

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

화학·화공

연도

2012

권(호)

WO20120055728

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

~26

분석자

박*학

분석물

• 박막전극의 제조.pdf [233,377 byte]

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