온 칩 전자장치 응용을 위한 실리콘 기판 성장제어 방법에 의한 나선형 CNT

전문가 제언

CNT(Carbon NanoTube)를 원하는 형태로 성장을 제어하는 것은 전자장치 또는 부품 등 응용에 매우 중요하다. CNT 생산에 사용된 초기 공정은 레이저 어블레이션(ablation) 및 아크 방전방법이었다. 두 방법은 SWCNT(Single Wall CNT) 및 MWCNT(Multi-Wall CNT)생산이 가능하여 계속 사용되고 있다. 그러나 레이저 어블레이션은 규모 확대에 는 사용하지 못한 반면 아크방전공정은 대량 CNT 생산에 사용되어 왔다. 레이저 어블레이션 기법은 85% 순도의 SWCNT 생산이 가능하다.

저자

J.A. Abu Qahouq, et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2012

권(호)

48(11)

잡지명

Electronics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

639~641

분석자

박*준

분석물

• 온 칩 전자장치 응용을 위한 실리콘 기판 성장제어 방법에 의한 나선형 CNT.pdf [204,975 byte]

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