소형 집적구조의 MEMS 광센서 어레이

전문가 제언

○ 이 발명은 생화학분야에서 미세정밀 감지와 검출을 위한 디바이스인 소형 집적구조의 MEMS 광센서 어레이 시스템에 관한 것으로 센서 어레이 설계제작을 통한 비표지(label-free) 감지장치와 방법을 제안한다.

○ 이 발명에서 제안하는 MEMS 광센서 어레이의 특징과 장점은 어레이구조의 견고성과, 감지 및 검출에서 비표지, 고도의 감도(sensitivity), 선택성(selectivity), 특이성(specificity) 등이다. 많은 MEMS 바이오센서들의 기술동향과 마찬가지로 테러용 물질 감지, 체액관련 병원균의 감지/검출을 위한 소형 집적구조의 툴을 제시하고 있다.

○ 대표 청구항은 센서어레이 시스템에 관한 것으로, MEMS 센서어레이의 구동, 진동기계구조, 광원, 광 간섭수단, 광 검출기, 가열기 등이다. 시스템의 구조설계와 하부구조/컴포넌트들의 상호작용에 의한 나노스케일 센싱이 핵심이다. 국내에서 MEMS 센서어레이를 개발하는 데에는 어레이 시스템과 광학계를 포함한 각 컴포넌트에 대한 구조의 개선이 필요하다.

○ KISTI DB<NDSL>에서 “MEMS biosensor” 특허검색 결과, 세계 전체 33건 중 특허청 기준으로 미국 33건, 국제 4건이며, 한국에는 한건도 없는 상태다. “MEMS optical sensor"의 경우 세계 전체 625건 중 미국 564건, 일본 21건, 국제 36건, 유럽 4건, 한국특허청 출원은 역시 0건으로 나타났다. 국내에서 이 분야의 특허출원이 극히 부진함을 보여준다.

○ COMPENDEX DB를 통한 국제논문발표 검색 결과, “MEMS optical biosensor”의 경우, 세계 264건 중 미국 78건, 일본 18건, 대만 15건, 중국 14건, 한국과 영국 각 10건, 프랑스 9건 순으로 나타났다. 우리나라는 현재 MEMS 바이오센서나 광센서에서 특허출원이 부진한 상태지만 연구개발에서는 아시아권역과 함께 착실히 진행되고 있음을 보여준다. 앞으로 바이오기술과 함께 수요증가가 예상되는 MEMS 바이오센서의 특허출원 활성화가 촉진되기를 기대한다.

저자

Koc Universitesi(TR)

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2012

권(호)

WO20120059828

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

~54

분석자

박*선

분석물

• 소형 집적구조의 MEMS 광센서 어레이.pdf [284,809 byte]

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