MEMS Hall 효과 압력센서

전문가 제언

압력센서는 농업, 산업, 의료 및 기상 등 일상의 여러 분야에 널리 사용되고 있다. MEMS 기술의 발달로 미세제작에 기반 한 압력센서가 출현하고 있다. 여러 형태의 MEMS 압력센서가 있는데, 용량성, 공진형, 광섬유형 등이 있다. 압전저항 압력센서는 고 민감성 및 선형성 때문에 가장 많이 사용된다. 그러나 압전저항의 지정 및 제작은 매우 조심스럽게 수행되어야 한다. 만일 저항크기가 너무 크면 스트레스 분포가 매우 불균형하여 민감성이 떨어진다. 그러나 저항은 오차를 최소화하기 위해 크게 해야 한다.

저자

Hui-yang Yu, et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2012

권(호)

48(7)

잡지명

Electronics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

393~394

분석자

박*준

분석물

• MEMS Hall 효과 압력센서.pdf [206,159 byte]

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