내열충격 질화규소 세라믹스

전문가 제언

세라믹스는 공유결합과 이온결합의 양쪽 특성을 가진 재료이므로 내열성, 경도, 강도 전기적 특성 및 화학적 안정성이 우수한 재료이다. 여기서는 기계적 특성과 열적특성을 겸비하여 보호관, 소성용 부재 및 반도체기판으로 널리 이용되고 있는 질화규소(Si3N4)의 내열충격성 향상에 대해 기술한다. 입계상의 주성분인 소결조제에 산질화물의 생성 촉진효과가 있는 Yb2O3을 이용하는 동시에 첨가량 및 소성방법을 검토하였다. 이 결과 입계상을 결정화(Yb4Si2N2O7)시키는 것이 가능하게 되어, 열전도율이 33W/m?K에서 84W/m?K로 크게 향상되는 것을 확인하였다.

저자

Takeshi Airima

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

47(1)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

17~19

분석자

김*호

분석물

• 내열충격 질화규소 세라믹스.pdf [207,365 byte]

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