고열전도 질화규소 기판의 동향

전문가 제언

파워 일렉트로닉스는 민생용으로 응용분야가 확대되고 있으며 여기서 중요한 기능을 담당하는 것이 세라믹 가판이다. 세라믹 기판은 저열저항화나 열 응력에 대한 신뢰성이 요구되고 있다. 이러한 요구에 대응하기 위해 개발된 것이 고열전도 질화규소(Si3N4) 기판이다. 이 Si3N4는 기계적 특성을 유지하면서 고열전도화를 하기 위해서는 원료분말, 소결조제, 소성조건 등을 최적화시켜 결정 화합물상의 비율을 높인 Si3N4를 개발하였다.

저자

Takeyuki Naba

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

47(1)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

38~41

분석자

김*호

분석물

• 고열전도 질화규소 기판의 동향.pdf [243,460 byte]

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