깊이 분해기능 캐소드 발광분광기술의 응용

전문가 제언

○ DRCLS 기술은 1980년대 중반에 개념이 도입된 이후 많은 연구 팀의 노력으로 현재 높은 기술적 완성도를 보이고 있다. 이러한 기술적 완성도와 함께, 다른 광전자 분광기술에 대비한 장점에도 불구하고 DRCLS의 활용은 아직 세계적으로 보편화되지는 않은 것 같다.

○ 국내 반도체 산업의 경우 레이저 분광기술 등이 많이 사용되고 있다. 이들 기존 기술과 DRCLS 기술은 상호 보완적인 측면이 많아서 병행 사용이 유리할 수 있다. 그러나 DRCLS 장치에 필수적인 UHV(초고진공) 체임버는 이 기술의 손쉬운 산업 현장 적용을 방해하는 한 요인으로 지적되고 있다.

○ 이러한 제한된 산업 응용성 때문에 현재 국내의 DRCLS 연구는 주로 대학과 연구소의 기초연구에 의존하고 있다. 광전자 분광기술 자체가 일반화되어 많은 곳에서 수행되기 때문에 DRCLS 기술을 다루는 특정 기관을 지적하기 힘들지만, 한국표준과학연구원의 광전자 분광연구실이 대표적인 국내 팀으로 알려져 있다(권택영 박사 등).

○ 서울 대학교와 고려 대학교, 충북 대학교 등 많은 대학에서 광전자 분광기술을 연구하고 있으며, 이 과정에서 DRCLS 관련 기초 연구가 수행되는 것으로 알려져 있다. 특히 충남 대학교의 조협 교수는 광전자 분광기술의 국내 전문가이다.

○ 비록 국내에서는 DRCLS 기술에 대한 관심이 주로 기초연구 단계에 머물러 있으나, 다른 기술로는 해결할 수 없는 DRCLS 기술만이 갖는 여러 장점에 비추어 지속적인 관심과 지원이 요청되는 분야이다. 특히 요즘처럼 장치들이 마이크로와 나노 영역으로 지속적으로 축소되면서 어느 단계에서는 DRCLS 기술의 적용이 필수적이 될 수도 있다.

저자

L J Brillson

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2012

권(호)

45

잡지명

Journal of Physics D

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

18300101~18300127

분석자

은*준

분석물

• 깊이 분해기능 캐소드 발광분광기술의 응용.pdf [272,289 byte]

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