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나노밀링을 위한 기계적인 나노제작 시스템의 설계 및 평가

전문가 제언: ○ 본 논문은 나노밀링 공정을 실행하기 위한 기계적인 나노제작 시스템의 설계 및 평가를 제시하고 있다. 나노밀링 공정은 고속으로 회전 중인 나노공구(원자 힘 현미경 탐침 팁)를 사용하여 3차원의 샘플표면에 나노스케일 특성을 생성하는 것이다.

○ 본문에 설명한 2개의 나노밀링 공정 형태의 운동학과 나노밀링 시스템은 나노공구를 회전시키는 3차원 압전 액추에이터, 이송과 심도 운동을 하는 나노위치 단계 및 나노밀링 운동을 조정하는 소프트웨어를 포함하고 있다.

○ 보정 알고리즘이 개발되어 3차원 압전 액추에이터의 비선형성에 따른 주파수와 진폭에 직면하여 계획된 나노공구 운동을 달성할 수 있다. 나노밀링 시스템은 나노공구 운동의 측정으로 직접 평가되고 또한 제작된 나노특징의 정밀성 사정에서 간접적으로 평가되고 있다.

○ 측정시스템은 동적 나노밀링 운동의 측정을 위해 구성된다. 나노밀링 시스템은 고강성 나노공구 조립과 고주파(보정된) 나노공구 운동을 통해서 아주 정확하게 복잡한 나노스케일 특징에 대한 제작을 촉진하는 것이 보였다.

○ 탐침 선단의 접속요소인 AFM(원자 힘 현미경 탐침 팁) 캔틸레버는 낮은 강성 때문에 시스템의 루프강성이 아주 작고 원래 형태로부터 모양의 뒤틀림과 부정확이 초래되어 공정 정밀성과 품질 향상을 위해 나노공구 마모 감소와 처리량 증가를 위한 검토가 필요하다고 생각된다.

저자: B. Arda Gozen et al.
자료유형: 학술정보