탄소 나노튜브 배선

전문가 제언

미세금속 배선은 첨단 LSI를 구성하는데 필수적이다. 그러나 LSI의 고집적화에 의한 미세화의 진전에 따라 배선 폭은 이미 10㎚대로 되었고, 금속배선 재료의 전도 메커니즘이 한계를 맞이하고 있다. 한편 나노 카본 재료는 그 특이한 전도 메커니즘으로 배선 폭과 배선 길이에 의존하지 않는 일정한 저항이 될 것으로 기대하고 있다.

저자

Akihiro Kajita

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

67(4)

잡지명

東芝レビュ-

과학기술
표준분류

재료

페이지

56~57

분석자

강*태

분석물

• 탄소 나노튜브 배선.pdf [280,368 byte]

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