나노 패턴 제조를 위한 인위적 균열

전문가 제언

물질 내 균열의 전파는 환영받지 못 한다. 그러나 실리콘 위에 박막 증착 시 주의 깊은 기술로 제작한 균열은 나노미터 크기 채널을 사전 설계에 따른 패턴 제조에 유효하게 사용될 수 있다.

저자

Antonio J. Pons

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2012

권(호)

485

잡지명

Nature

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

177~178

분석자

변*호

분석물

• 나노 패턴 제조를 위한 인위적 균열.pdf [211,325 byte]

이미지변환중입니다.