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MEMS 스캐닝을 이용한 LADAR

전문가 제언: ○ 이 발명은 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 디바이스인 스캐닝 마이크로 미러(초소형 반사경)를 채용하는 신규 LADAR 시스템으로, 미국의 LightTime사가 특허출원하였다.

○ 현재 기술에 기초한 LADAR 시스템은 대체로 원하는 것보다 훨씬 고가이며, 무겁고 사이즈가 큰 것으로 평가된다. 예컨대, 상용 LADAR 시스템 가격은 현재 25,000~400,000달러 범위로 평균 100,000달러, 크기는 15kg 이상으로 15,000CC 이하의 부피를 갖는 것은 찾아볼 수 없는 것으로 조사했다(미국 NIST 보고서).

○ 이 발명의 배경이 된 가격, 크기, 에너지사용량의 축소를 위해 출원인은 MEMS 기술을 응용했다. 즉, MEMS 미러에 의해 스캐닝을 하는 LADAR 시스템을 제안한 것으로, 압전 액추에이터를 이용하여 MEMS 미러를 구동하는 방식이다. MEMS 미러 제조 프로세스는 반도체 제조공정에서 쓰이는 클린룸이 필요 없는 것이 특징이다.

○ 대표청구항은 스캐닝 미러 시스템으로 미러, 미러 프레임, 프레임 주위의 베이스들을 포함하는 기판 및 미러를 구동하는 액추에이터들로 구성된다. Optical-MEMS 기술을 응용한 미러 디바이스를 제안하고 있다. 국내에서 관련특허에 도전하려면 optical-MEMS에 의한 미러 디바이스 구조설계와 제조 및 구동방식에 대한 연구개발이 필요하다.

○ KISTI 데이터베이스 NDSL을 통해 “LADAR”를 검색한 결과 전체 380건 중 미국 283건, 유럽 35건, 국제 40건, 일본 16건, 한국 6건이 확인되었다(2012.5.15 현재). 국내 특허출원의 경우, 주로 LADAR 또는 레이저를 응용한 차량안전감시용 광센서와 관련된 것이며 MEMS 기술을 응용한 LADAR 시스템은 아직 없는 상황이다. 향후, 안전감시용, 군사용, 지형관측용 등의 수요를 감안할 때 개발도전이 요구되는 과제이다.

저자: Light-Time, LLC
자료유형: 특허정보