생산공정에서 보이지 않는 결함을 놓치지 않는 계측기술

전문가 제언

일본의 산업기술종합연구소 생산계측기술 연구센터의 광 계측 솔루션 팀장 Nonaka Kazuhiro씨가 연구하고 있는 반도체 생산에서의 웨이퍼?마이크로 크랙 검출기술을 소개한다.

저자

Watanabe Samayoshi

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2011

권(호)

52(7)

잡지명

素形材

과학기술
표준분류

재료

페이지

55~57

분석자

이*식

분석물

• 생산공정에서 보이지 않는 결함을 놓치지 않는 계측기술.pdf [274,187 byte]

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