MEMS 가스센서

전문가 제언

○ 이 발명은 미국의 QMT사(Qualcomm MEMS Technologies, Inc.)가 자사의 원천기술인 iMOD (Interferometric Modulator 또는 Interferometric Light Modulator)의 광변조 특성을 응용한 MEMS 가스센서를 특허출원한 내용이다.

○ MEMS의 한 형태인 iMOD는 광 간섭의 원리를 이용하여 광을 선택적으로 흡수 또는 반사한다. 이를 응용하여 제조되는 센서는 매우 유용한 감지 디바이스로 평가되며, 속도, 온도, 압력, 광, 가스 등의 감지용 센서로 유망하다. 이 발명의 MEMS 가스센서도 그 중 하나이다. 2009년에는 iMOD를 압력측정에 이용한 특허가 QMT에 의해 출원된 바 있다.

○ 이 발명에서 제시한 iMOD응용 감지 디바이스는 한 쌍의 전도성 플레이트를 구성하며, 이들 플레이트는 전체 또는 일부가 투과와 반사특성을 갖는다. 이 둘은 적절한 전기신호에 따라 상대운동을 한다. 한 개의 플레이트에는 한 기판 위에 고정된 층이 있고, 다른 플레이트는 고정 층과 에어 갭에 의해 분리되는 금속막이 있다. 한 개의 플레이트는 iMOD에 입사하는 입사광의 간섭을 변화시킬 수 있는 기능을 한다.

○ 청구항의 핵심은 MEMS디바이스(iMOD) 내 최소 2개 층 사이의 정전용량 변화(잔류응력의 변화)와 1개 이상의 화학물질의 존재를 나타내는 정전용량, 전기적 응답에 기초한 화학물질 존재의 확인이다. 디바이스 제조기술은 공지의 MEMS기술을 이용한다. 여기서 검출대상 화학물질은 독성 대기오염물질과 가연성 가스를 포함한다.

○ 이동통신 CDMA기술의 보유자인 QMT사는 iMOD를 응용하여 각종 전자/기계기술의 융합영역에서 특히 디스플레이 분야를 중심으로 특허영역을 확장하고 있다. 이 회사는 국내에도 현재 45건의 특허를 출원하고 있고, 대부분이 iMOD 관련기술을 응용하여 청구범위를 설정하므로 국내에서 동일한 타입의 가스센서생산은 당분간 라이센스 계약이 불가피하다. 이를 돌파하려면 새로운 원천기술 개발에 도전해야만 한다.

저자

Qualcomm MEMS Technologies Inc.

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2012

권(호)

WO20120021420

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

~45

분석자

박*선

분석물

• MEMS 가스센서.pdf [245,857 byte]

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