MEMS/NEMS 네트워크를 구비한 분석장치

전문가 제언

○ 이 발명은 프랑스의 CEA(Commissariat a L'Energie Atomique et aux Energies, 영문명: Atomic Energy and Alternative Energies Commission)가 특허출원한 것으로서 MEMS/NEMS 센서네트워크를 형성하는 마이크로 유체분석용 디바이스를 제안한 것이다.

○ 일반적으로 마이크로 유체분석 시스템에서는 마이크로채널에 1~2개의 센서(채널의 입구 및 출구)를 집적하여 유체의 성분을 분석한다. 이 발명은 다중센서 또는 센서그룹을 디바이스 내에 형성하고 센서 간에 네트워크를 구성하여 센서 위로 유체(액체 및 가스)를 통과시켜 동시에 정밀 분석하는 시스템을 구성했다.

○ 기존 마이크로분석 시스템과는 달리 분석 디바이스를 MEMS/NEMS 센서층, 전자제어/처리층, 배선층, 센서캡슐화에 의한 보호층 등 3D 다층 집적구조로 설계하고, 기판 위에 MOS 타입의 전자회로와 배선구조 제조, SOI(Silicon-on-Insulator) 기판의 특정부위에 센서들의 제조, 센서와 전자회로 간의 배선을 형성하는 복잡하고 더욱 정밀한 방식을 택하고 있는 점이 특징이다.

○ 이 발명의 특허출원에서 청구사항의 핵심은 특성을 갖는 1개 이상의 특정 자극제에 반응할 수 있는 복수의 MEMS 및/또는 NEMS 센서층의 구성이다. 국내에서 유사한 방법을 개발하는 데에는 특히 센서시스템/네트워크 설계변경이 필요하다. 제조방법은 대체로 복잡하지만 기존의 반도체기술을 이용한 MEMS/NEMS 디바이스기술을 응용하고 있어 국내 기술수준으로도 해결이 가능할 것으로 보인다.

○ 독가스 또는 독액 등 독극물에 의한 테러행위 대비가 필요하다. 마이크로/나노 스케일 센서그룹에 의한 이러한 정밀 유체분석 시스템은 대테러용으로 응용할 수 있다. MEMS/NEMS에 대한 국내 연구개발 수준으로 볼 때 새로운 초정밀분석용 디바이스 개발을 위한 도전이 기대된다.

저자

Commissariat A L'Energie Aomique et Aux Energies Alternatives

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2011

권(호)

WO20110154363

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

~48

분석자

박*선

분석물

• MEMS NEMS 네트워크를 구비한 분석장치.pdf [256,730 byte]

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