편광분석 CMOS 이미지센서의 고정도화와 in situ 비대칭 계측에의 응용

전문가 제언

본고에서는 표준 CMOS 공정의 금속배선 층을 와이어그리드 편광자로 이용하는 편광분석 CMOS 이미지센서를 개발하고 입사광의 편광 측정이 가능한지를 검증하였다. 편광 측정의 고정도화를 위해 9개의 편광자 어레이를 갖는 편광분석 CMOS 이미지센서의 온칩(On-chip) 편광자를 탑재한 이미지센서로서 약 1자리 수의 노이즈 레벨 저감을 달성했다. 또한 센서를 코어로 하는 유로삽입형(流路揷入型)의 비대칭 측정계를 구축하고 혼합비가 다른 멘톨 용액을 이용하여 in situ에서의 편광각 계측에 성공하였다.

저자

Hitoshi Matsuoka, Toshihiko Noda, Kiyotaka sasagawa, Takashi Tokuda, Kimitada Terao, Yasuhiro Nishiyama, Kiyomi Kakiuchi, Jun Ohta

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

정보통신

연도

2011

권(호)

35(19)

잡지명

映像情報メディア 學會誌技術報告

과학기술
표준분류

정보통신

페이지

21~24

분석자

홍*철

분석물

• 편광분석 CMOS 이미지센서의 고정도화와 in situ 비대칭 계측에의 응용.pdf [224,257 byte]

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