전자현미경의 발달사

전문가 제언

○ 1926년에 Hans Busch는 전자의 자기장에 의한 렌즈작용을 이론화하여 현미경의 새로운 광원으로 전자를 사용하는 계기를 마련하여 전자현미경이라고 부르게 되었다.

○ 초고압전자현미경(HVEM)은 초박막 절편을 제작할 수 있는 기술력이 낮았던 시기에 두꺼운 시료를 관찰하고자 개발되었으나 최근에는 두꺼운 시료를 투과할 수 있는 장점을 이용하여 미세구조의 3차원적 재구성에 다양하게 활용하고 있다.

○ 주사투과전자현미경(STEM)법은 투과전자현미경(TEM)과 주사전자현미경(SEM)의 특성을 융합한 형태이다. 1980년대에 들어와서 분석전자현미경(AEM)의 영상을 디지털화할 목적으로 STEM법에 관심이 높아졌고 1990년 후반부터 FEG가 보급되어 고분해능으로 발전되었다.

○ 전자현미경이 차지하는 비중에 비해서 국내에서는 전자현미경의 연구기반은 매우 취약하다. 1976년에 일본의 Akashi 회사가 출자한 한국 ISI 회사에서 연간 350대 이상의 SEM을 생산하여 수출했다. 그러나 전문인력의 부족과 소재부품의 불량으로 국산화가 이루어지지 않다가 1993년에 도시바 계열의 회사로 합병됨에 따라 폐쇄되었다.

○ 전자현미경의 국산화는 2000년대 초반부터 연구가 시작되어 2008년부터 CX-100S 모델이 판매되고 있다. 나노소재 및 소자기술의 개발을 위해서는 나노구조에 대한 이해, 분석 및 평가가 필수적이다. 전자현미경을 적극 활용하여 신소재 전반에 걸친 나노분석기술을 개발하고 확대 보급하여 산업화로의 이행을 촉진하는 데 이바지해야 할 것이다.

저자

K. KURODA

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2011

권(호)

48(5)

잡지명

材料の科學と工學

과학기술
표준분류

재료

페이지

221~226

분석자

강*태

분석물

• 전자현미경의 발달사.pdf [245,140 byte]

이미지변환중입니다.