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3불화염소의 환경과 건강 위험성

전문가 제언: ○ Hsinchu(Taiwan, 2006. 7. 28.)에서 활성이 높은 물질의 다량방류로 여러 명의 근로자가 화학약품화재로 죽은 것이 3불화염소(ClF3)의 처음 사고다. ClF3는 과 불화화합물을 대체하는 반도체 실리콘기판장치 생산에서 현장 세척가스로 사용한다.

○ ClF3의 물리?화학적 특성, 산업적 사용, 그 독성의 화경연관성, 반응성, 건상위험, 노출한계 등을 검토했다. ClF3의 분해가능성과 가수분해산물의 건강위험도 그 물리?화학적 특성과 직업적 노출한계를 평가했다.

○ 산업응용에서, ClF3는 불소같이 강력한 산화제라서 중요한 불화할로겐이다. 이는 무색 무거운 가스거나 엷은 황색을 띈 액체며, 액체로 저장하던 불소보다 더 유용하고, 강철 용기에 담아 선적할 수 있다.

○ ClF3는 색깔도 없고, 비가연성이며, 유독하고, 특히 반응성과 산화력이 높은 무거운 가스다. 이는 교토의정서에서 종식시키려는 지구온난화 잠재물질이다. 이는 닿는 곳을 부식시키는 강한 독 물질이다. 그 독성은 HF, 염소, ClO2, 여러 가지 산화 할로겐 화합물 같은 다양한 가수분해산물에서 생긴다.

○ ClF3는 강력한 산화제로 깊은 유정 시추, 핵연료처리, 화학증기침적 챔버 세척처럼 여러 가지 산업응용에서 불화제로 사용한다. 적절한 조건으로 대부분의 유기물, 비금속과 모든 금속과 격렬하게 반응한다.

○ ClF3 독성은 닿는 표면을 부식시키므로 증기를 흡입하거나 피부나 눈에 닿는 것을 피해야 한다. 분해산물 중에 Cl2, HF, ClO2는 대부분의 생물에 독성이 높아서 주로 독작용을 하는 물질이다.

○ 우리도 세계 일류의 반도체 생산국으로 과 불화화합물을 대체한 ClF3를 상당히 많이 쓸 테지만, 얼마를 쓰는지 어떤 부작용이 있는지 어떤 사고가 있는지 각 사업체의 대외비 사항이라 정확히 알 수 없고 다만 교과서적으로 알 뿐이다. 이의 연구는 산업체 연구기관에서 활발하다.

저자: Wen-Tien Tsai
자료유형: 학술정보