CMOS 호환성 공정으로 제작된 고 밀도 수직 실리콘 NEM 스위치

전문가 제언

저자

E.J. Ng, et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2011

권(호)

47(13)

잡지명

Electronics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

759~760

분석자

박*준

분석물

• CMOS 호환성 공정으로 제작된 고 밀도 수직 실리콘 NEM 스위치.pdf [201,200 byte]

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