실란가스 사고사례와 교훈 및 배기/처리 방법

전문가 제언

○ 실란(SiH4)은 반도체, 평판디스플레이, 태양전지 및 특수유리 산업에서 급속히 증가하고 있다. 실란은 자연발화성 기체로써 안전한 관리를 위해 특별한 장치와 취급상 주의가 요구된다. 실란이 많이 사용됨에 따라 실린더 교체 시의 잔류가스의 배기 혹은 비상배기 같은 경우에 실란가스를 안전하게 배기하고 처리할 수 있는 시스템이 또한 요구된다. 이 글은 실란가스 배기 혹은 처리와 관련하여 발생한 사고사례 6건을 소개하면서 위험성과 안전한 처리방법을 상술하고 있다.

○ 한국에서는 폴리실리콘산업과 반도체산업 등에서 실란을 많이 취급하고 있고 이 분야 신규업체에서의 연구개발도 활발한데 이 글은 이들의 안전한 공정운전과 개발연구에 참고가 될 것이다.

○ 외국 실란제조업체의 경우 고객서비스 차원에서 실란의 안전취급요령을 교육하며 웹사이트에서도 자세히 소개하고 있다. 또 물질안전보건자료(MSDS)도 쉽게 접할 수 있다(예; Air Products and Chemicals의 Safetygram #26). 그러나 우리나라의 실란 제조업체의 경우 이런 정보를 제공하지 않고 있다. 한국산업안전보건공단 혹은 일부 실란가스 수입업체가 제공하는 MSDS를 보면 “심각한 화제위험 있음. 공기에 노출되면 발화될 수도 있음”이라고 기술하고 있는데, 위의 자료에 비하면 실란의 위험성을 낮게 평가한 것으로 생각된다.

○ 한국에서 실란가스는 고압가스 안전관리법에 “가연성 가스” 및 “독성가스“로 정의되어 있으며 실란을 취급하는 시설 및 취급자는 이 법의 규정을 따라야 한다.

저자

James VanOmmeren

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

화학·화공

연도

2011

권(호)

30(2)

잡지명

Process Safety Progress

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

104~114

분석자

이*용

분석물

• 실란가스 사고사례와 교훈 및 배기,처리 방법.pdf [356,549 byte]

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