○ Bio-MEMS는 장래 MEMS의 중요한 응용분야의 하나로 평가된다. 인체의 바이오 및 유체현상을 대상으로 각종 생화학적 검출, 약물과 시료분석, DNA/RNA 분석, 혈액/세포들의 검출과 분석, 인슐린과 같은 체내 약물주입 등 다양한 분야에 응용이 기대된다.
○ MEMS 타입의 마이크로펌프는 대표적인 Bio-MEMS 요소디바이스이다. 2000년대 들어와 다양한 MEMS 마이크로펌프의 구동방식과 설계, 재료에 관한 연구가 이뤄져왔고, 이 분야에서 여전히 연구개발 토픽 중의 하나이다. 미국, 대만, 중국, 싱가포르, 일본, 한국 등에서 연구가 활발하고, 아시아권역의 연구활동이 두드러진다.
○ 특히 대만은 MEMS 마이크로펌프 연구논문 발표에서 두각을 나타내고 있는 나라다. 데이터베이스 COMPENDEX 검색 결과(~2011년 7월 14일 현재), 마이크로펌프에 관한 논문 발표건수 1,667건 중에서 국별 순위는 미국 327건, 중국 195건, 일본 186건, 대만 151건, 독일 140건, 한국 116건 등이다. 대만의 Chen Kung 대학과 Taiwan 대학은 대표적 연구기관이다.
○ 이 자료는 대만 Chen Kung 대학 연구진이 유체전달을 위한 마이크로 펌핑시스템에 관한 연구결과이다. 소화기의 장운동과 유사한 운동형태를 갖는 연동형(peristalic) 구조의 마이크로펌프 구동방식을 열구동(thermo-actuation)과 공압구동pneumatic actuation)의 장점을 혼합한 열-공압(thermal-pneumatic actuation) 방식으로 설계한 내용이며, 실증시험 결과 작동유체에 미치는 온도증가가 기존방식에 비해 낮아 그 유용성을 입증했다.
○ 국내에서도 여러 구동타입의 MEMS 마이크로펌프에 관한 연구가 진행되고 있다. 아주대, 서울대, 명지대, KAIST 등 대학연구진의 논문발표가 비교적 활발하다. 향후 발생할 바이오 의료분야에서의 센싱, 검출, 분석, 약물전달 등을 위한 Bio-MEMS 디바이스수요에 대비하여 설계, 제조, 생체적합재료 기술개발과, 관련특허 출원, 임상대책 등 경쟁력 강화 대책이 이뤄지기를 기대한다.