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MEMS에 의한 센서혁명

전문가 제언: ○ MEMS(Microelectromechanical Systems)는 미세전자기계시스템이라고 하며, 반도체 가공기술을 기반으로 센서, 액추에이터 등 기계적 부품을 반도체 기판 위에 집적화한 장치를 말한다. 통상, 데이터를 처리하는 중앙 유닛과 마이크로 센서와 같이 외부와 반응하는 부품으로 구성된다. 응용분야는 스마트폰이나 게임기, 자동차 등에 쓰이는 가속도·각속도센서, 압력센서, 잉크젯프린터 헤드, 혈압계, DLP 디스플레이, 광스위치, 바이오센서, 케모센서 등 아주 다양하다.

○ 시장조사업체 Yole Development에 의하면 2010년 세계 MEMS 매출액은 자동차 및 각종 단말기의 관성센서 확대 적용으로 전년대비 25% 급증한 86억 달러이다. TI(프로젝터용 디지털신호처리 칩), HP(잉크젯프린터헤드, Robert Bosch(휴대폰 및 자동차용 가속도센서), ST마이크로(스마트폰 등 소비자 가전용)의 4개사가 전체 매출액의 37%를 차지하고, 일본의 파나소닉, 세이코엡슨, 캐논 등이 그 뒤를 따르고 있으며, 상위 30개 회사가 80%를 차지하고 있다.

○ 국내의 MEMS 산업 및 기술 수준은 해외에 비해 상당히 뒤져있는 상황이다. 2009년 기준, MEMS 부품 국내 시장 규모는 전 세계의 7.7%인 6,737억 원에 달했다. 휴대폰·게임기·의료기기 등으로 수요가 확대되고 있지만 부품의 80%이상을 수입하고 있어 국산화가 시급하며, 반도체 강자인 삼성전자가 2010년 전 세계 1위의 MEMS 부품 구매사라는 것은 시사하는 바가 크다.

○ 정부는 2006~2010년에 걸쳐 송도에 RFID/USN센터를 설립하여 RFID/USN 제품의 설계ㆍ조립ㆍ시험ㆍ인증 서비스를 원스톱으로 제공하는 종합지원실과 MEMS 센서 개발 및 양산 파운드리 서비스를 제공하는 8인치 웨이퍼 팹을 갖추었다. 연세대, 고려대, 한양대, KIST, ETRI, 광주과학기술원 등 국내 각 대학 및 연구소에서 바이오·가속도·압력·온/습도·유체 센서 등 MEMS 관련 다양한 연구를 진행하고 있으며 특허출원도 활발히 진행되고 있다. MEMS는 반도체, 기계, 재료 및 전자 등 각종 첨단 기술의 집합체인 만큼 관련 분야 간의 긴밀한 협력을 통해 국내 센서산업이 한 단계 도약할 수 있기를 기대한다.

저자: Masayoshi ESASHI
자료유형: 학술정보