에피택시방법에 의한 회전형 결정성장 장치

전문가 제언

○ 반도체소자를 작성하는데 에피택시(epitaxy)결정성장이 이용되고 있다. 지금은 무기에서 유기재료에 이르기 까지 폭넓게 활용되고 있는 중요한 기술이다. 에피택시성장이란 기판결정에 같은 방위를 가지는 결정박막 층을 성장하는 것을 의미한다. 에피택시성장이 반도체작성에 주목을 받아온 것은 이미 50년이나 된다.

○ 에피택시란 말은 결정구조에 대한 방위를 기하학적으로 연구하면서부터 나온 말이다. 무엇인가의 위에 배열(arrangement on)한다는 의미를 나타내기 위하여 사용되어 왔다. 에피택시성장은 기판과의 관계에 크게 영향을 받는다. 기판의 재료, 격자정수, 표면상태의 효과를 면밀히 조사해 두는 것이 에피택시성장에 매우 필요하다.

○ 핵형성, 및 성장구동력에 영향을 미치는 요인은 평형상태의 정도와 성장방법에 의존한다. 성장용액이나 성장가스 중의 원자-분자의 움직임을 연구하는 분야가 결정성장의 반응속도론이다. 반응속도는 온도, 압력, 조성, 기판구조에 크게 영향을 준다. 에피택시성장을 할 때에는 성장을 지배하는 요인을 충분히 파악해둘 필요가 있다.

○ 결정을 기판에 증착할 때에는 결정격자와 기판격자의 격자정수가 일치하면 결함이 적은 좋은 결정(격자정합)이 얻어진다. 반면에 양자의 격자정수가 틀리는 경우에는 결함이 있는 결정(격자부정합)이 생긴다. 꼭 그렇지는 않으나 격자상수의 정합, 부정합의 정도에 따라 양자의 계면에 결함전위가 발생한다.

○ 에피택시성장은 기체분자운동론을 다루는 기초과학에 해당한다. 성장요인이 다양해서 매우 까다로운 성장기술이다. 특허에서 소개하는 기술은 고정기판을 회전기판으로 바꾼 것이다. 결과의 신빙성은 평가하기 힘들다. 한국에서도 10여개의 대학연구기관에서 연구가 이루어지고 있으며, 국내발표논문, 그리고 외국인을 포함한 특허출원도 상당수 존재한다.
키워드; 1. 에피택시 2. 격자정합 3. 격자부정합 4. 반도체박막 5. 회전기판

저자

Bergmann, et al.

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

화학·화공

연도

2011

권(호)

WO20110044412

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

~33

분석자

박*학

분석물

• 에피택시방법에 의한 회전형 결정성장 장치.pdf [233,949 byte]

이미지변환중입니다.