MEMS 제조장치와 미니멀 매뉴팩처링

전문가 제언

○ 미니멀 매뉴팩처링(Minimal Manufacturing)은 최소의 자원, 에너지, 폐기물로 최대한의 기능, 특성을 발휘하는 생산 공정을 말한다. 필요한 때에 필요한 만큼의 제품을 무공해 혹은 환경부하가 적은 재료를 사용해서 자원 절감 및 에너지 절감의 기술로 가공해서 친환경적이고 국제 경쟁력을 갖춘 제조업의 장래 비전이라고 말할 수 있다. 일본 산업기술총합연구소에서는 제조기술의 이노베이션 창출과 산업중심 이동을 선도하기 위해서 추진하는 전략적 목표로서 2007년 4월부터 워킹그룹을 결성해 이의 확산을 추진해오고 있다.

○ 온 디맨드(On Demand) 제조기술은 다기능 범용성을 갖추고 필요에 따라서 생산하는 방식이다. 제조장치에 맞춰서 제품을 만들던 시대에서, 제품에 맞춰 제조장치를 구성하는 시대로 변화 되고 있으며 생산방식의 혁신을 일으키고 있다. 시장에서의 순간적인 기회를 놓치지 않고 잡을 수 있으며 다양한 요구에 신속히 대응하고 제품을 개발, 제조기술의 확립으로 신속한 제조기술로 상품화하는 다품종변량 생산의 임기응변이 강한 생산방식이다.

○ 에어로졸 데포지션(AD: Aerosol Deposition)공정은 미세한 세라믹 분말을 이송 가스에 실어 기판에 분사함으로써 기판 표면에 세라믹 코팅층을 상온에서 분사하여 성막하는 기술이다. 상온 분사 공정에서 사용되는 세라믹 입자는 일반적으로 수백 nm에서 수십 ㎛ 정도까지의 크기를 가지는 입자들로서 일반적으로 통용되는 에어로졸과는 의미가 다르다. 최근 일본에서 개발되어 빠른 속도로 전파되고 있으며 다양한 기능, 구조 세라믹스의 코팅방법으로 응용영역이 확대되어 나가고 있다.

○ MEMS에 의한 반도체 부품의 미세화는 나노 영역에 까지 미치고 있다. 따라서 나노 단위의 정밀도를 갖는 부품의 생산은 당연히 종전의 대형 제조기계가 아닌 소형화를 위한 생산기술로의 발전이 되어가고 있다. 그래서 미니멀 매뉴팩처링 시스템이 등장하게 되었다. 미소 전자부품을 성막하는 제조장치를 복합 유닛화한 온 디멘드 방식은 앞으로의 미세부품 제조의 혁신적인 역할을 할 것으로 기대된다.

저자

Shizuka Nakano, Kiwamu Ashida

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2011

권(호)

77(3)

잡지명

精密工學會誌

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

254~258

분석자

심*일

분석물

• MEMS 제조장치와 미니멀 매뉴팩처링.pdf [249,159 byte]

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