투명반도전성산화물-소재와 소자

전문가 제언

○ 광학적, 전기적 특성과 밀접한 관련이 있는 디스플레이, 면촉(touch) 패널 및 태양전지 등에서 투명전극의 역할은 절대적이다. 투명전극소자에 이어 투명산화물반도체 소재가 디스플레이 구동소자로 큰 관심을 끌고 있다. 산화물반도체 기반의 트랜지스터는 TFT-LCD의 대형화 및 고속화, AMOLED의 고집적화를 비롯하여 저온 공정용 플렉시블 디스플레이의 구동소자로 주목받고 있다.

- 투명 디스플레이기술은 시간적·공간적 제약 없이 정보를 접할 수 있는 유비쿼터스 환경에 가장 알맞은 기술이다. 내비게이션 화면을 전시하는 자동차 앞유리, TV화면을 띄울 수 있는 거실의 창문유리 등 응용분야가 넓어 잠재적 시장가치가 크다.

○ 디스플레이의 채널층으로 비정질 실리콘이 주로 상용화되어 왔다. 비정질 실리콘 기반의 박막 트랜지스터는 제작의 경제성 및 균일성을 가지고 있어서 널리 상용화되고 있다. 하지만 낮은 전자 이동도로 인하여 디스플레이의 대면적화에 부적합하며 광학적으로 불투명한 특성을 가진다.

- 대안으로 산화물 기반의 반도체를 박막 트랜지스터의 채널층으로 사용하려는 연구가 진행 중이다. 산화물 기반의 반도체는 광학적으로 투명하고, 상온에서 증착이 가능하며, 비정질 실리콘에 비해 월등히 우수한 이동도를 가지므로 디스플레이의 대면적화에 유리하다. ZnO, SnO2, TiO2 등이 연구되고 있으며, 특성 향상을 위하여 Id나 Al 등의 첨가도 함께 연구되고 있다.

○ 투명 박막 트랜지스터의 특허 출원이 국내외로 크게 늘고 있다. 국내에서는 삼성전자, 삼성SDI, ETRI, LG전자, LG디스플레이, 주요 대학들이 특허 출원을 활발하게 하면서 기업 중심의 상용화 기술, 대학 및 공공 연구소 중심의 원천기술 개발 노력이 심도 있게 병행되고 있어 크게 기대된다.

저자

Marius Grundmann, Heiko Frenzel, Alexander Lajn, Michael Lorenz, Friedrich Schein, Holger von Wenckstern

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2010

권(호)

207(6)

잡지명

PHYSICA STATUS SOLIDI(A) : APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

1437~1449

분석자

황*룡

분석물

• 투명반도전성산화물-소재와 소자.pdf [469,152 byte]

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