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대기압 화학기상증착에 의한 TiNx 필름의 구조, 전기 그리고 광학 특성

전문가 제언
저자
Gangfeng Duan
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
재료
연도
2011
권(호)
257
잡지명
Applied Surface Science
과학기술
표준분류
재료
페이지
2428~2431
분석자
문*찬
분석물
담당부서 담당자 연락처
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