졸-겔법으로 증착한 산화아연 박막

전문가 제언

○ 마이크로화시대가 본격화 되고 나노 스케일을 취급하는 단계에 접어듦에 따라 목표 성능에 부합되는 재료의 개발과 더불어 이를 이용한 소형 고성능 소자의 형성방법이 중요한 이슈로 등장하게 되었다.

○ n-형 반도체인 ZnO는 Ⅱ-Ⅵ화합물로서 압전소자, 광도파관, 표면탄성 소자, 가스센서 및 바리스터등과 최근에는 자외선 발광다이오드 또는 레이저 다이오드 유망재료로서 각광을 받는 등 응용분야가 매우 다양 하다는 면에서 큰 주목을 받고 있다.

○ 이와 같은 ZnO를 박막형태로 제조하는 일은 소형고성능화 소자의 형 성을 위한 첫 단계 작업이라 여겨진다. 본 리뷰에서는 산화아연 원료물질을 제조하는 여러 가지 방법 중 졸-겔 법을 택하였다. 이 방법은 형성과정의 단순성, 경제성, 특성 조절의 용이성 등의 면에서 큰 장점을 지닌다. 특히 졸-겔 법은 공정의 다양성과 미세공정조정으로 흥미 있는 재료 공학적 결과를 얻을 수 있다

○ 그러나 ZnO 박막을 졸-겔 법으로 형성할 경우 MOCVD 법이나 MBE법 등에 의한 막에 비해 특성 안정화의 기본고려사항인 비 화학 양론적 지수가 상대적으로 클 것으로 생각되어 특히 가스센서분야 사용의 경우 공정 변수의 세심한 제어가 필요하다
○ 국내에서는, ZnO 막을 SAW 필터로 응용하고자 하는 개발 차원의 노력이 있었으며 1980년대 들어 이를 가스센서의 모물질 또는 첨가제로 응용하려는 연구가 수행된 바 있다. 최근 들어 (2009~), ZnO 나노입자를 이용한 후/박막소자를 환경 센서로 응용하려는 노력이 이루어지고 있다
○ 졸-겔 법에 의한 ZnO 합성공정의 정교화는 그 생산성과 경제성과 더불어 신뢰성을 높일 수 있어 앞으로 다수연구자의 보다 심도 있는 연구가 기대 된다

저자

Lamia Znaidi

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2010

권(호)

174

잡지명

Materials Science and Engineering B

과학기술
표준분류

재료

페이지

18~30

분석자

이*동

분석물

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