유기 전자 디바이스의 양극

전문가 제언

○ 유기 전자 디바이스의 양극(anode)은 진공증착이나 스퍼터링으로 형성된 ITO(Indium-Tin-Oxide)를 사용하고, 고분자 유기층(organic layer)은 주로 스핀코팅 이나 프린팅 방식으로 도포하며, 음극은 일함수가 작은 마그네슘 등이 적용된다. 본 발명은 양극인 ITO 표면을 플라즈마 처리하여 유기 디바이스의 성능 및 품질을 향상시키는 내용이다.

○ 최근 가장 주목받는 능동형(active matrix) OLED는 각 픽셀에 TFT를 배치하는 제조공정을 갖기 때문에 디바이스의 픽셀 구조가 간단한 수동형(passive matrix) OLED에 비해 제조공정에서 기술적인 문제가 많다. 즉, 양극표면의 스파이크(spikes)를 포함한 표면의 불균일 및 픽셀 모서리의 뱅크 형성에 의한 유기층의 두께 차이에 의한 필 팩터(fill factor) 저하에 대한 대책 등이 기술적으로 해결해야 할 과제이다.

○ 본 발명의 양극에 적용된 플라즈마 표면처리 기술은 여러 첨단소재 분야에서도 최근 응용되는 추세이다. 예를 들면 광촉매의 TiO2에 금속이온을 플라즈마 이온 주입하여 가시광선 영역에서 분해되는 친환경 광촉매, 플라즈마 이온 주입에 의한 고기능 신소재, 플렉시블 디스플레이 공정의 대전력 플라즈마 그래핀 에칭 및 OLED 제조 공정에서 메탈마스크의 친환경 건식 플라즈마 세정 등이 대표적인 응용 사례이다.

○ 삼성 SDI에서 2007년 AMOLED의 양산체제를 갖추고 모바일 영역에서 성공적인 발전을 현재까지 지속하고 있으나, 대면적의 OLED TV 개발을 위해서는 유기물 및 TFT 공정의 요소기술 및 부품 소재기술의 확보를 위한 노력은 더욱 요구된다. 국내 대기업과 연구기관들의 적극적인 산학협력과 대형 FPD(Flat Panel Display) 신시장의 발굴에 대한 노력이 진행되면 신규 플렉시블 디스플레이 분야에서도 국내기업에 의한 세계시장의 선점은 충분히 가능하다.

저자

E.I. dupont de Nermours and Company

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

화학·화공

연도

2010

권(호)

WO20100065494

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

~20

분석자

나*록

분석물

• 유기 전자 디바이스의 양극.pdf [356,480 byte]

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