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급속 열 어닐링하여 SF6 플라스마 처리한 AlGaN/GaN 이종구조의 C-V분석

전문가 제언
저자
YJ. Osvalda, T. Lalinsky, G. Vankoa
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
화학·화공
연도
2010
권(호)
257
잡지명
Applied Surface Science
과학기술
표준분류
화학·화공
페이지
1254~1256
분석자
김*원
분석물
목록
담당부서 담당자 연락처
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