마이크로, 나노 좌표계측과 주사 힘 현미경을 위한 고 해상도, 자동감지 및 자기작동 탐침

전문가 제언

저자

K. hidaka et., al,

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

기초과학

연도

2010

권(호)

59

잡지명

CIRP Annals - Manufacturing Technology

과학기술
표준분류

기초과학

페이지

517~520

분석자

신*순

분석물

• 마이크로, 나노 좌표계측과 주사 힘 현미경을 위한 고 해상도, 자동감지 및 자기작동 탐침.pdf [313,868 byte]

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