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SU-8에 기초한 MEMS 디바이스용 웨이퍼레벨 패키징

전문가 제언
저자
G. Murillo etc.
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
정밀기계
연도
2010
권(호)
87
잡지명
Microelectronic Engineering
과학기술
표준분류
정밀기계
페이지
1173~1176
분석자
박*선
분석물
목록
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