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혼합 모드의 캐소드 아크 스퍼터링에 의해 얻어지는 배향된 탄소 클러스터의 퇴적

전문가 제언
저자
M. Lattemann
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
화학·화공
연도
2010
권(호)
48(3)
잡지명
Carbon
과학기술
표준분류
화학·화공
페이지
918~921
분석자
마*일
분석물
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