저온 동시소성 세라믹스(LTCC) 기술

전문가 제언

○ 저온 동시 소성 세라믹스(LTCC: Low Temperature Co-fired Ceramic)는 고밀도의 유리와 세라믹을 원료로 다층의 세라믹 기판을 만드는 공정 또는 그러한 공정을 통해 만들어진 세라믹 기판을 의미한다. LTCC에서는 테이프 캐스팅(tape casting)의 방법으로 제조된 후막(수십~수백㎛의 두께)형태의 세라믹 유전체 등의 여러 가지 회로요소를 구현하기 위한 전도성 금속 페이스트를 이용하여 여러 층의 적층형 소자를 제조한다.

○ LTCC에서 저온이란 의미는 850℃에서 1000℃ 정도의 온도 범위이며 이는 은이나 동 분말의 소결온도와 비슷하다. 따라서 LTCC는 은이나 동과 「동시」에 소성을 할 수 있는 세라믹스이다. 저온소성에서는 소결성 또는 비정질 유리와 세라믹 분말의 복합재료가 사용되는 경우가 많다.

○ 한편 후막소재와 함께 사용되는 전도성 금속 페이스트는 주로 Au, Ag, 그리고 Ag/Pd 합금이 사용된다. 이들 전도성 페이스는 후막 테이프와 동시소성을 거쳐야 하므로 열팽창계수 등의 여러 특성이 적합해야 한다. 페이스트는 기능을 부여해 주는 기능 물질(예를 들어 Ag, Ag/Pd, Au, Cu 등), 접합용 유리질, 인쇄 성을 부여해 주는 유기용매 및 분산제 등으로 이루어진다.

○ 이 문헌에서는 동(銅)을 이용하는 동시소성 메탈라이제이션과 LTCC의 기술개발 동향 및 미래기술인 post-LTCC에 대해 설면하고 있다.

○ 외국은 LTCC의 회로 설계 후 시제품 생산까지 1~2주 안에 처리하는 것을 목표로 설계 도구, 설계 데이터 형식, 재료 물성 값 데이터베이스 등을 통일시키려는 노력을 진행 중에 있다. 또한 배선의 미세화도 장기 계획을 세우고 추진하고 있다. 그러나 국내에는 생산에 대한 기술도 수입하는 장비에 의존할 뿐, 독자적인 기술 개발 및 적용이 미미한 상태이다. 특히 전극 재료나 유리분말, 세라믹스에 대한 연구가 적은 편이다. 세라믹 소재나 유리분말을 연구하는 사람들의 관심이 있기를 기대한다.

저자

Yoshihiko Imanaka

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2010

권(호)

45(5)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

350~362

분석자

김*환

분석물

• 저온 동시소성 세라믹스(LTCC) 기술.pdf [425,998 byte]

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