금속화합물의 코팅방법

전문가 제언

○ 본 발명은 기판 위에 액체용액 내에서 금속산화물, 금속, 금속복합재료와 그 산화물, 금속황화물 등과 같은 재료를 사용하여 마이크로파 조사(microwave irradiation)에 의해서 박막 혹은 후막 코팅층을 형성하기 위한 제조장치와 방법에 관한 것이다.

○ 본 발명에서는 넓은 면적으로 된 기판에 대하여 빠른 속도로 용이하게 코팅할 수 있으며 전체의 표면에 원하는 재료에 대하여 두께를 비교적 용이하게 조절할 수 있고 균일하게 증착시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 소규모에서부터 대량생산까지 가능하므로 향후 활용가능성이 상당히 클 것으로 예상된다.

○ 마이크로파 조사에 의한 코팅기술 중에서 기판 위에 형성되는 코팅층 내의 불순물, 특히 계면활성제의 잔사를 효율적으로 제거할 수 있는 고온열처리기술은 품질에 미치는 영향이 크기 때문에 이에 대한 제조기술의 확립이 대단히 중요하다.

○ 최근 국내에서도 반도체 나노로드(nanorod)를 밀도 있게 규칙적으로 배열하는 것에 대한 연구가 활발히 추진되고 있다. 이러한 반도체 나노로드를 기판에 수직한 방향으로 배열하는 기술은 광전자 소자, 전기장방출 소자, 정보저장 소자 등에 활발히 이용될 수 있는 가능성이 있다. 예를 들어 광전자 소자에서 랜덤하게 배열되는 나노로드에 비해 균일하게 정렬된 나노로드로 배열하면 전하분리 효율과 밀도가 높아지므로 전자나 홀의 이동 특성도 향상되기 때문이다.

○ 향후에 용액 중에서 마이크로파 조사에 의한 코팅방법을 응용하여 ① 기판 위에 다양한 성분으로 이루어진 나노로드의 규칙격자를 배열할 수 있는 코팅기술을 확립하고, ② 쉬운 공정으로 값싸게 제작할 수 있고, ③ 다양한 기판 위에서도 쉽게 코팅할 수 있는 제조기술을 개발하여야 할 것이다. 이러한 기술이 정착되면 고기능을 갖는데 매우 유용하며 보다 다양한 재료의 결합도 가능하게 되어 광전자소자 및 나노소자 등에 대한 응용범위와 수요가 더욱 넓어질 것으로 예상된다.

저자

INDIAN INSTITUTE OF SCIENCE

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2010

권(호)

WO20100041278

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

재료

페이지

~41

분석자

유*천

분석물

• 금속화합물의 코팅방법.pdf [445,436 byte]

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