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고주파용 페라이트 도금막

전문가 제언: ○ 기존의 소결, 절단, 증착에 의한 복합체 형상으로 제조하였던 고온건식공정에서는 결정성의 페라이트막을 얻는 데 석출속도도 낮은 데다 기판을 수백 ℃ 이상으로 가열해서 얻어야 한다는 문제점이 있었다. 이에 대하여 저온습식의 페라이트도금은 금속은 물론 부도체 플라스틱이나 반도체 IC기판 등에 수 ㎛의 균일하고 얇게 석출하여도 우수한 고주파특성을 나타내는 것으로 알려졌다.

○ 페라이트도금이 투자율을 이용한 ㎓대역의 전도노이즈억제와 박막유전체의 유전율 향상에 기여한 것으로 알려졌다. 페라이트 도금막이 수십㎚ 이하의 매우 얇은 막의 미세결정입자의 집합체로 구성된 것이 특징이다. 특히, 불과 수 ㎛ 두께로써 ㎓대 고주파신호의 고속전송과 낮은 반사계수를 달성할 수 있어, 광 통신부품, 기판에도 습식페라이트 도금기술이 적용될 것으로 사료된다.

○ 페라이트도금 피막은 소결에 비해서 Fe2+를 과잉으로 함유하기 때문에 그 저항치는 2~4배 정도 낮은 것으로 알려졌다. ㎒대역 이상의 고주파영역에서 고속신호전송 부품으로 활용되는 것이 바람직하다. 전자에너지를 효율성 있게 노이즈 억제체 내부로 도입하여 반사손실을 억제하는 전자노이즈 억제체로는 반사계수를 －10㏈을 넘지 않는 기준으로 설계하고 있다. 노이즈전류를 효율적으로 열에너지로 변환시키는 기술도 개발 중에 있다.

○ 국내에서도 습식페라이트 도금에 관한 연구개발이 활성화되고 있으나 상용화되지 못하고 있는 실정이다. 1991년 전해법에 의한 스피넬형 Mn Ferrite의 생성에 관한 연구에 이어, MnXFe3-XO4와 NiXFe3-XO4 박막에 대한 강자성공명연구를 하여 박막자기헤드용으로 개발 중에 있다. 최근 페라이트 도금법에 의한 Co-Ni페라이트 박막의 성장과 자기특성에 관한 연구가 추진 중에 있다. 향후 소형화, 얇은 형상화, 고집적화, 다기능화 등을 위한 저온습식 페라이트도금의 연질자성도금 막의 연구개발이 활성화 될 것으로 사료된다.

저자: Nobuhiro MATSUSHITA
자료유형: 학술정보