연료전지용 MEMS 유량센서

전문가 제언

○ 연료전지는 환경적합성이 뛰어난 차세대 청정에너지로서, 화석연료의 고갈과 환경보전에 대응하기 위한 에너지수단으로 주요국들이 전략적으로 개발과 실용화 및 보급이 매우 활발하게 이뤄지는 분야다.

○ 고체고분자형 연료전지(PEFC)는 실증시험단계를 지나 이미 시장에 진출하는 단계에 진입했다. 다른 방식에 비해 상대적으로 저온에서 동작할 수 있기 때문에 자동차를 비롯한 수송기계분야에 적용하기 위한 노력이 진행 중이다.

○ 연료전지 시스템의 적정한 운전과 높은 효율을 위해서는 전지의 연료원인 메탄올 가스와 유입되는 공기의 유량계측은 매우 중요한 역할을 한다. 또한 소형화와 고성능화, 양산이 용이한 유량센서가 요구된다. 그러나 실제로는 기체가 작동할 때 주위온도, 배관방법, 맥동현상 등 해결해야 할 과제들이 상존하고 있다.

○ MEMS 기술을 응용한 유량센서는 이러한 과제를 해결하고 동시에 소형화, 고감도, 높은 응답성을 실현할 수 있어 향후 MEMS 유량센서의 개발과 시장진입이 활발히 이뤄질 전망이다. 이 자료는 연료전지용도를 중심으로 MEMS 유량센서의 기술동향을 쉽게 정리하고 있다.

○ MEMS 유량센서는 발열체에서 생긴 열에너지의 상?하류 변화량을 포착 측정하는 열형(thermo-type) 유량측정센서로서 약 1.5㎜ 크기의 1개 마이크로 칩 내에 집적하는 것으로서 폴리실리콘 히터가 주변온도로부터 일정온도 상승하도록 피드백 제어한다. 온도측정용으로서는 자기발전형인 열전대열(thermopile)을 사용한다.

○ 국내에서도 향후 자동차뿐만 아니라 노트북PC 용도와 같은 소형연료전지기술의 개발경쟁력이 반드시 필요하다. 이의 산업화를 촉진하고 시장경쟁력을 키우기 위해서는 MEMS 유량센서의 독자개발이 중요한 과제라 할 수 있다.

저자

UEDA Naotsuga

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2010

권(호)

64(2)

잡지명

自動車技術

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

16~20

분석자

박*선

분석물

• 연료전지용 MEMS 유량센서.pdf [358,816 byte]

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