진공기술의 최근 발전 동향

전문가 제언

○ 21세기에 들어와 세계적으로 진공기술은 여러 산업분야의 핵심기술로 인식되고, 그 응용분야는 더욱 다양화하고 수요도 계속 증가하는 추세이다. 우리나라는 반도체나 디스플레이 생산량은 세계 1위임에도 불구하고 생산 공정에 필요한 진공장비나 부품 중 일부만을 국내에서 제작하고 고진공장비와 같은 핵심부품은 수입해 사용하고 있다.

○ 반도체산업이 발전하면서 그 제조공정에 사용되는 진공장치 안에 먼지 문제가 중요한 이슈가 되었으며, 지금은 일반 생산 공정 관점에서 진공의 양과 질을 관리하는 것이 상식이 되었다. 또한 전자, 이온, 플라스마 중의 입자를 조절하는 것은 물론 우주의 미지세계를 해명하기 위해서 진공은 절대적으로 필요한 기술이다.

○ 향후 필요한 초고진공을 위해, 진공 챔버 내 방출가스를 가능한 한 최소로 줄이고, 챔버의 재질 선택, 세척, 표면처리 등 대책이 필요하다. 초고진공을 생성할 수 있는 진공펌프는 스퍼터(sputter) 이온펌프, 터보 분자펌프, 헬륨 냉동기와 함께 사용하는 크라이오(cryo) 펌프 등 3종류가 있다. 한편 분석계로는 오메가트론, 트로코이드형, 베네트형 등이 있는데, 가장 많이 사용되고 있는 것은 4중 극자형(마스필터) 분석계이다.

○ NT, ST, IT 분야의 신기술 개발을 위해서는 분자나 원자 개개의 조작이 필요하므로 불순물이 전혀 없는 극청정 진공기술이 필요하다. 극청정 진공기술은 식의약 산업에서부터 광학코팅, 나노 공정장비 개발, 우주 환경 시뮬레이터 개발, 나노 소자 및 소재 개발, 차세대 이동 통신기기 개발 등 신기술 개발을 지원하는 인프라 기술임과 동시에 미래를 열어 갈 차세대 산업의 창출을 선도하는 필수적인 기반기술이다.

○ 국내에 극청정 진공기반기술을 구축하기 위하여 극청정 진공 계측 및 시스템 진단기술 개발, 진공공정진단 기술개발, 차세대 소재부품 진공특성평가 및 밀봉특성평가, CVD용 증기압측정기술 등 핵심기술 확보에 목표를 두고, 진공관련 산업체, 학계, 연구소 들이 상호 기술교류와 협력 체제를 갖추고 극청정 초 진공 기술개발을 선도하여야 한다.

저자

Oikawa

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

일반기계

연도

2009

권(호)

12

잡지명

油空壓技術

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

21~27

분석자

나*주

분석물

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