내 신청현황
종류	모집공고명	진행상태
신청내용이 없습니다.

첨단기술정보

home
알림마당
과학기술정보분석
첨단기술정보

MEMS용 다층구조와 마스크 절약

전문가 제언: ○ 간섭 광변조기(Interferometric Modulator 또는 Interferometric Light Modulator; IMOD)는 MEMS(Microelectromechanical Systems) 디바이스의 한 전형이며, 광 간섭 원리를 이용하여 광을 선택적으로 흡수?전송?반사하는 디바이스다. 이 디바이스는 각광받는 미래의 디스플레이기술로서 미국의 QMT(Qualcomm MEMS Technologies, Inc.)가 개발하여 응용이 확산되는 추세다.

○ 이 발명은 QMT 사가 디스플레이 시스템의 주요구성 요소인 MEMS 디바이스의 설계?제조를 다층 기판구조로 개조한 내용으로서 MEMS형 IMOD는 여러 개의 다른 희생 층 두께 또는 기계적 강도를 갖는 구조를 가지며, 이 희생 층과 기계구조를 제조할 때 증착공정과 마스크공정을 절약하는 방법을 제안하고 있다. 이 내용이 특허 청구범위의 핵심이다.

○ 이 발명에서 IMOD를 이용한 디스플레이 시스템은 최선의 색상을 실현하기 위해 서로 다른 3개의 MEMS 구조를 갖는 IMOD를 채용한다. 3개의 영역에 2개의 유전체 층의 증착을 이용하여 3개의 유전체 층 두께를 형성함으로써 3개의 MEMS 구조체는 그 구조체가 닫히거나 중첩상태일 때 3개의 다른 색상에 상응하는 광의 파장을 생성시킬 수 있다.

○ IMOD는 MEMS 기술이 디스플레이 분야에 응용된 대표적 기술로서 Texas Instruments 사의 DLP(Digital Light Processing) 프로젝터와 함께 광기술을 응용한 Optical-MEMS의 대표적 주자가 될 가능성이 커지고 있다. 특히 IMOD는 이동전화, 무선단말기, PC 모니터, 카메라, 캠코더 등 디스플레이가 필요한 대부분의 장치에 응용할 수 있는 주목받는 기술이다.

○ "inteferometric modulator"에 관한 특허청별 특허출원 검색결과, 미국 397건, 유럽 129건, 일본 36건, 한국 11건으로서 미국이 주도하는 상황이다. 한국에 출원한 특허의 경우, 11건 모두 미국회사의 출원이며, QMT 사는 금년에 공개된 “Interferometric Optical Modulator with Broadband Reflection Characteristics(2008. 8. 19출원) 등 2건이다. 향후 국내에서도 광-MEMS의 연구개발이 더욱 활성화되기를 기대한다.

저자: Qualcomm MEMS Technologies, Inc.
자료유형: 특허정보