RF 마그네트론 스퍼터링으로 폴리카보네이트 기판위에 성장한 Ga-첨가된 ZnO 투명전도막

전문가 제언

○ Ga-첨가된 ZnO(GZO)박막은 고주파 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)에 의하여 폴리카보네이트(PC)기판 위에서 성장하였다. 스퍼터링 압력과 산소분압에 대한 막 특성의 의존성을 조사하였다. 비저항은 산소분압에 아주 민감하며 4.8%의 산소분압 비 증가에 대해서 약 106배 증가하였다.

○ 비저항은 스퍼터링 압력 감소에 따라 감소하며 0.14Pa에서 7.8x10-4Ωcm이다. 모든 막의 가시영역에서 평균 투과도는 80%만큼 높다. 양질의 투명 전도특성과 폴리머기판 위에 실온증착은 GZO막이 박막 태양전지와 같은 유연한 광전자 디바이스에 널리 사용할 수 있다.

○ 국외에서는 2009년 Arika Miyake 등에 의하여 "Structual, electrical and optical properties of Ga-doped ZnO films on cyclo-olefin polymer substrates"를 Thin Solid Films 517(10)에 그리고 Wuf 등은"Seebeck and magnetroresistive effects of Ga-doped ZnO thin films by RF magnetron sputtering"를 Applied surface science 255(21)에 각각 발표하여 이 분야의 연구 활동이 활발하다.

○ 국내에서는 2010년에 박승범 등이 "폴리이미드기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 공정으로 증착된 ZnO:Ga박막의 특성"을 전기전자재료학회지 23(5)에 그리고 SW Shin 등이 "The effect of processing parameters on the properties of Ga-doped ZnO thin films by RF magnetron sputtering"를 Current Applied Physics, 2009에 각각 발표하여 활발한 연구 활동이 학계와 산업체에 크게 공헌하고 있다.

○ PC기판 위에서 성장한 GZO박막은 낮은 비저항과 가시영역에서 높은 투과도로 유연한 광전자 디바이스에 크게 도움이 된다. 또한 폴리머 PET(폴리에틸렌 테레프탈레이드)기판 위에 GZO박막 특성의 검정을 시도하여 디바이스에 이용 여부를 검토하여야 한다.

○ 스퍼터링 온도, Ar/O2 비 그리고 성장한 GZO박막의 열 어닐링에 의한 여러 가지 특성을 더 규명하여야 한다.

저자

Li Gong

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

에너지

연도

2010

권(호)

94(6)

잡지명

Solar Energy Materials and Solar Cells

과학기술
표준분류

에너지

페이지

937~941

분석자

문*찬

분석물

• RF 마그네트론 스퍼터링으로 폴리카보네이트 기판위에 성장한 Ga-첨가된 ZnO 투명전도막.pdf [342,447 byte]

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