MEMS 센서와 센싱기술

전문가 제언

○ 마이크로 시스템 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)가 자동차, 정보통신, 정밀기기, 휴대용 전자기기, 바이오의료, 에너지/환경용 디바이스, 게임기 등에 응용이 확산되고 있다.

○ 현재 상승추세인 MEMS 시장의 경쟁력을 겨냥하여 각국 기업과 연구주체들이 기술개발에 힘을 쏟고 있다. 더욱 작으면서 고기능화한 마이크로 시스템을 실현하기 위해 MEMS+MEMS, MEMS+ 반도체(특히, CMOS), MEMS+ 나노의 융?복합 R&D가 주류이다.

○ 현실적인 시장상황은 자동차와 휴대전화 분야가 MEMS 시장의 주류를 형성하고 있다. 특히 자동차용 MEMS는 이미 성장기에 들어선 상황이다. 가속도 및 각속도센서(자이로), 압력센서가 1990년대에 미국을 중심으로 자동차의 엔진효율, 운전자 보조, 주행안전용으로 이용되기 시작했다.

○ 이 논문은 관성센서(가속도 및 각속도센서), 압력센서(엔진제어, 타이어압력측정 센서), 운전자 주행지원용 영상장치 등 자동차용 MEMS 센서의 개발과 응용동향을 기술했다. 기술적 내용들은 이미 공개된 것이지만, 적외선 카메라, 광 스캐너 등 영상 디바이스가 야간에 운전자의 안전운전을 지원하는 도구로 응용되고 있다는 기술정보는 유용하다.

○ 국내 대학과 연구기관에서도 MEMS 센서에 관한 연구가 비교적 활발한 편이며, 한국센서학회도 꾸준히 논문을 발표하고 있다. 타이어압력측정시스템(TPMS)도 국내기업이 생산하여 시판하는 상황이다. 그러나 주요 센싱 재료는 수입에 의존하고 있는 등 시장경쟁력이 약하다.

○ 국내 MEMS 산업의 인프라는 R&D 수준에 비해 낮은 편이다. 그러나 최근 정부의 지원으로 인천 남동공단에 RFID/USN 센터를 설립하여 MEMS 센서 파운드리 서비스에 착수한 것은 매우 긍정적이다. 이 센터의 발전과 함께 MEMS R&D와 파운드리 서비스산업이 연계된 발전으로 시장경쟁력이 강화되기를 기대한다.

저자

ESASHI Masayoshi

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2010

권(호)

64(2)

잡지명

自動車技術

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

11~15

분석자

박*선

분석물

• MEMS 센서와 센싱기술.pdf [358,796 byte]

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