고에너지 이온빔을 이용한 나노 마이크로 구조 기술

전문가 제언

○ 이온빔을 이용하는 기술은 1960년대부터 IC제조에 응용하기 시작한 이래 저에너지 이온주입기술(수십~200keV)은 정착단계에 도달해있다. 1980년대에 들어서서 MeV급의 기술이 소재산업 전반에 걸쳐 응용이 되기 시작하였다. 고에너지 기술은 반도체 분야를 비롯해서 금속, 기계, 항공, 고분자 화학, 세라믹, 의료 및 바이오 등 매우 넓은 분야에 걸쳐 활용이 되고 있다.

○ 산업생산기술의 고도화와 더불어 물질의 미세 부위 분석이 요구되는데 대부분 정성분석에 그치고 있어서 평가가 미흡한 실정이다. 미세 부위 정량분석 기술의 확보가 매우 중요해지고 있으며, 이온빔 분석기술은 수 마이크론 이하의 공간 분해능으로 비파괴 정량분석이 가능하다. 또한 물질의 초미세 가공수단으로도 활용성이 기대되므로 활용성이 뛰어나다. 21세기 과학과 기술 분야는 나노 수준까지 도달해 있기 때문에 중대형 이온빔가속기는 기술개발의 필수장비라고 할 수 있다.

○ 세계 각국은 이온빔가속기 도입에 경쟁적으로 나서고 있다. 우리나라가 현재 보유하고 있는 소형 가속기는 한정된 활용 수준에 머물러 있지만, 미국, 일본, 프랑스 등이 보유하고 있는 5㎹ 이상의 중대형 가속기는 무거운 동위원소 분석까지 가능해서 생체 재료들의 분석 등의 새로운 학문 분야로 이용이 확대되고 있다.

○ 정부는 미래 성장의 핵심기술 연구를 지원하기 위해서 오는 2011년까지 6㎹ 수준의 중형 가속기를 도입키로 결정하였다. 이온빔 가속기는 앞으로 기초기술 연구 분야뿐만 아니라 차세대 국가성장 동력의 근간이 되는 나노기술(NT), 생명공학기술(BT) 및 정보기술(IT) 등 미래 첨단핵심 기술에 보다 큰 역할을 할 것이며 보다 폭 넓게 활용이 될 것으로 생각한다.

저자

Tomihiro Kamiyama

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2010

권(호)

79(3)

잡지명

應用物理

과학기술
표준분류

재료

페이지

213~218

분석자

김*배

분석물

• 고에너지 이온빔을 이용한 나노 마이크로 구조 기술.pdf [364,670 byte]

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