고출력 펄스 마그네트론 스퍼터링

전문가 제언

○ 박막기술은 모재의 성질을 그대로 유지하면서 표면의 성질을 개선하여 새로운 적용을 가능하게 하는 첨단 기술이다. 또한 박막으로 표면에 원하는 기계적 특성이나 전기적 특성을 형성하는 나노기술을 이용하여 전혀 새로운 산업을 이루기도 한다. 박막기술은 표면 성질을 잘 제어할 수 있는 것이 성공의 관건이다.

○ 우리나라는 반도체산업이 크게 발전하여 세계적 수준에 이르렀기 때문에 전국의 각 대학이나 연구소에서 일반 MS는 많은 연구개발이 이루어졌다. HPPMS는 완전 평면 균일 박막을 생산할 수 있어서 플랫 패널 디스플레이 제조에 사용되고 있다. 그러나 HPPMS는 비교적 최근에 관심을 갖기 시작하여 아직 널리 사용되고 있지 않다. 우리나라에서는 이제 학교나 연구소에서 연구가 진행되고 있다.

○ 본 연구에서 HPPMS 및 DCMS로 절삭 인서트에 TiAlN 코팅을 하여 물성치를 서로 비교함으로 HPPMS의 우월성을 증명하고자 하였다. 이것은 HPPMS가 DCMS에 비해서 나은 코팅 기법이라는 것을 보여줄 뿐이다. 그러나 MS 외에도 다른 PVD 방법들이 있고 CVD 방법도 있으며 특히 CVD 같은 경우 응착력도 우수한 코팅을 적층할 수 있는 것으로 알려져 있다. HPPMS 코팅을 DCMS 이외의 다른 여러 코팅 방법과 비교 연구가 필요하다.

○ HPPMS는 DCMS에 비해 비교적 역사가 짧아서 적용되는 분야가 많지 않다. 따라서 다른 분야로의 적용연구가 필요하다. 예를 들어 HPPMS로 절삭공구에 TiAlN과 같은 경질 코팅을 할 수 있는 것으로 볼 때 이 방법으로 다이아몬드 나노결정 코팅과 같은 초경질 코팅에의 적용에 대한 연구를 해볼 수 있을 것이다.

저자

J Alami, S Bolz, K Sarakinos

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2009

권(호)

483

잡지명

Journal of Alloys and Compounds

과학기술
표준분류

재료

페이지

530~534

분석자

김*훈

분석물

• 고출력 펄스 마그네트론 스퍼터링.pdf [352,276 byte]

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