산업과 제조공정 분야에서 MEMS의 응용

전문가 제언

○ MEMS(Microelectromechanical Systems)의 응용분야는 다양하다. 이미 자동차, 광학기기, 휴대용 전자기기, 인쇄, 바이오의료, 통신, 에너지, 항공우주, 게임기 등에 광범위하게 응용되고 있거나 확산 중이다.

○ 현재 MEMS 디바이스시장은 자동차와 통신, 바이오의료용 센서와 일부 액추에이터 MEMS가 가장 중요한 비중을 차지한다. 가속도미터, 각속도 센서, 압력센서, 잉크젯 프린터헤드, 프로젝터용 DMD, 자이로스코프, 타이어 압력측정시스템(TPMS) 등이 주류를 이루고 있다.

○ 이 논문은 MEMS의 산업 및 프로세스에 초점을 두고 응용현황을 다루고 있다. 이미 MEMS의 산업부문 또는 제조공정에서의 응용은 확산 중이다. MEMS 디바이스가 소형화, 고기능, 고감도, 코스트다운, 에너지절약 등의 효과를 각종 제조프로세스에 도입하고 있음을 분석했다.

○ 특히, MEMS의 산업응용의 사례분석 대상으로 자이로스코프와 마이크로 입자를 세부적으로 다룬 것은 응용여부에 따라 MEMS기술 응용이 산업부문에 광범위하게 확산될 수 있음을 예시한다. 관성센서와 내비게이션용으로 널리 응용 중인 자이로는 회전기계, 광산기계, 농기계, 건설기계, 석유탐사에도 도입 중이며, 마이크로 입자에 의한 액적은 잉크, 전자부품, 마이크로엔진, 생화학용 마이크로 칩에 응용 중이다.

○ 국내 연구원들의 MEMS 연구는 논문 수에서 국제상위권에 들만큼 활발하다. 논문에는 산업응용 테마도 많다. 특히, μ-TAS와 같은 바이오MEMS 관련 분야에서 대학과 연구기관의 연구는 높은 수준으로 평가된다. 그러나 외국에 비해 MEMS기술의 산업화를 위한 인프라는 낙후한 상황이다. 대만과 중국에 비해서도 낮은 수준이다.

○ 앞으로 나노기술을 기반으로 하는 디바이스 또는 시스템(NEMS)의 출현이 예측된다. 이러한 디바이스는 MEMS기술에 의한 툴에 의해 가공된다. 정부의 MEMS제조 인프라의 형성과 함께 NEMS에 대한 연구원들의 적극적인 도전이 필요하다.

저자

Robert Neal Dean, Jr., Antonio Luque

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2009

권(호)

56(4)

잡지명

IEEE Transactions on Industrial Electronics

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

913~925

분석자

박*선

분석물

• 산업과 제조공정 분야에서 MEMS의 응용.pdf [401,506 byte]

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