MEMS 디바이스를 이용한 압력측정

전문가 제언

○ 이 발명은 이동통신기술 CDMA의 보유자인 Qualcomm사의 광변조기 디스플레이 전문 자회사인 QMT(Qualcomm MEMS Technologies, Inc.)가 출원한 것으로서, 간섭광 변조기(iMoD : interferometric modulator)를 압력센서로 응용한 내용이다.

○ iMoD는 MEMS가공기술에 의해 제작된다. 2개의 층 사이에 전압을 가하면 MEMS 디바이스는 풀린 상태에서 구동 상태로 즉시 변환한다. 이 때 걸리는 시간은 디바이스의 설계, 전위차 신호, 주변압력에 따라 결정된다. 시간이 주변압력과 선형함수 관계임을 이용하여 압력을 측정한다.

○ iMoD MEMS 디바이스는 적절한 제어와 측정 전기회로를 채용하여 압력센서로서 이용할 수 있다. 내부에 설치된 변조기로 정밀하고 LCD 이상의 깨끗한 화질로 디스플레이 한다. 이 압력측정 시스템은 혈압, 기온, 고도측정용 등 다양한 용도의 우수한 센서로 응용이 기대된다.

○ 이번에 QMT가 출원한 iMoD 이용 압력측정방식은 기본적으로 광 간섭원리를 응용한 iMoD의 시간-압력 함수와 고정 및 가변형의 2개 층(금속 막으로 형성)으로 된 MEMS 구조체가 특허청구의 핵심이며, 새로운 특허출원을 시도한다면 MEMS 구조체 설계에서 새로이 접근하거나 개조가 필요하다.

○ 2009년 말 현재 간섭계 변조기와 관련된 국내 특허출원 10건 중에서 IDC LLC 9건, QMT 1건으로 모두 미국기업이다. 따라서 iMoD를 이용한 QMT타입 MEMS형 압력센서의 특허출원은 곤란하며 국내생산은 라이선스계약이 필요한 상황이다. 특히 QMT사가 국내 출원한 45건의 특허를 보면, 압력센서 자체의 설계, 제조방법은 아니지만 “공기간극 제어를 제공하는 MEMS장치”, “광 간섭 디스플레이 패널” 등 관련기술들이 설정되어 있어 새로운 연구개발이 필요함을 알 수 있다.

저자

Qualcomm MEMS Technologies, Inc.

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2009

권(호)

WO20090155298

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

~20

분석자

박*선

분석물

• MEMS 디바이스를 이용한 압력측정.pdf [350,936 byte]

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