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이온주입공정 기술 및 장치와 그 평가
- 전문가 제언
-
- 저자
- Yokoo Hidekazu
- 자료유형
- 연구단신
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 화학·화공
- 연도
- 2009
- 권(호)
- 57(12)
- 잡지명
- 工業材料
- 과학기술
표준분류 - 화학·화공
- 페이지
- 41~44
- 분석자
- 오*섭
- 분석물
-
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