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나노 갭 전극

전문가 제언: ○ 나노 갭 전극은 나노미터-크기 디바이스와 회로제작을 위한 기본적 구성 요소이다. 나노 갭 전극은 나노미터 규모, 심지어 분자 규모로 재료 특성 실험을 위한 중요한 도구이다.

○ 나노 갭 전극 제작기술, 나노 갭 전극을 기반으로 하는 조립 디바이스의 준비 그리고 재료 특성 분석을 위한 이들 나노디바이스의 응용 가능성을 소개하였다. 또한 나노 갭 전극의 역사, 연구현황 그리고 전망을 논의하였다.

○ 나노 갭 전극을 제작하는 방법은 기계적으로 제어하는 브레이크 접합, 전기화학 및 화학증착, 사각새도증착, 전자이동과 전기 브레이크 다운, 분자자와 나노구조 템플릿, 집속이온빔과 산화플라스마 그리고 주사탐침 리소그래피 등이 있다.

○ 국외에서는 2002년부터 2009년까지 나노 갭 전극응용에 관한 많은 논문이 발표되었다. 미국, 일본과 중국에서 연구 활동이 적극적으로 이루어지고 있다. 2009년 Noor, N.H.M 등은 ‘A Silicon-Oxide-Silicon Vertically Separated Electrode Nanogap Device Structure'을 발표하였다.

○ 국내에서는 2007년 ‘나노갭 소자(전극)의 제조방법’을 KAIST와 한국표준과학연구원에서 발표하였다. 최근 2009년에 GIST에 의하여 ‘비탄성 전자 터널링에 의한 전자이동 나노 갭 전극에서 금속-분자-금속 접합의 진동 스펙트럼’을 발표하였다.

○ 이론과 실험을 통하여 나노 갭 전극 제작과 응용에 많은 관심을 가지고 센서 특히 바이오센서 및 바이오칩 분야에 많은 노력과 연구비 지원이 절실히 요구된다.

○ 앞으로 낮은 전력소모, 높은 속도 그리고 높은 수준의 집적을 가진 회로소자를 위해 편리하고 효과 있게 나노 갭 전극을 제작하여야 한다. 또한 질화물 반도체를 이용한 나노 갭 전극에도 관심이 필요하다.

저자: Tao Li
자료유형: 학술정보