나노시트를 이용한 박막성장 제어법
- 전문가 제언
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○ 청색 발광다이오드나 강유전체 메모리, 투명 도전 막과 같은 전자나 광전자 제품에 각종 기능성 재료의 박막이 이용되고 있으며 이들 결정을 기판 상에 박막화하는 기술은 매우 중요한 핵심기술이다.
○ 박막 제조 시에 사용하는 기판표면의 원자배열, 즉 결정구조 및 방향성이 가장 중요하다. 즉, 기판표면의 구조는 기판위에 성장시키고자 하는 박막의 결정구조와 매우 비슷하여야 한다. 서로의 격자상수가 2.5% 이내가 좋다고 알려져 있다.
○ 단결정이 원자 주준의 평활성과 높은 구조 질서성을 공유한 표면을 얻을 수 있기 때문에 이상적인 기판이나, 값이 비싸고 크기의 제한과 난가공성 등의 문제가 있다. 본고에서는 나노시트의 2차원 방향의 결정표면을 이용하여 박막성장을 제어하는 방법을 제안하였다.
○ 나노시트는 층상 산화물을 화학적 방법으로 층간을 팽윤시켜 최소 구성단위인 각층까지 박리시켜 얻어지는 새로운 나노 크기의 물질이며 그 2차원 단위격자는 장방형 격자, 정방형 격자, 육각 격자 등 각종 구조가 있다. 따라서 원하는 구조를 갖는 나노시트를 기판 표면에 붙이면 그 구조에 따라 자유롭게 원하는 박막을 성장시킬 수 있다.
○ 나노시트를 만들기 위해서는 층상 결정을 층간 팽윤시켜 단층 박리시키거나 벽개하는 기술이 필요함으로 층간 화학(intercalation chemistry)에 관한 지식을 습득해 나가야 될 것이다.
○ 나노시트를 종자로 값싼 기판 상에 부여하여 그 위에 각종 박막을 자유롭게 성장시킬 수 있는 제어방법이 개발되어 값싸고 대면적을 얻기 쉬운 유리나 플라스틱, 금속 등을 기판으로 사용할 수 있는 길이 열렸다.
- 저자
- Tatsuo Shibata, Takayoshi Sasaki
- 자료유형
- 학술정보
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 재료
- 연도
- 2010
- 권(호)
- 45(2)
- 잡지명
- セラミックス
- 과학기술
표준분류 - 재료
- 페이지
- 93~97
- 분석자
- 김*호
- 분석물
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