첨단기술정보

  1. home
  2. 알림마당
  3. 과학기술정보분석
  4. 첨단기술정보

나노시트를 이용한 박막성장 제어법

전문가 제언
○ 청색 발광다이오드나 강유전체 메모리, 투명 도전 막과 같은 전자나 광전자 제품에 각종 기능성 재료의 박막이 이용되고 있으며 이들 결정을 기판 상에 박막화하는 기술은 매우 중요한 핵심기술이다.

○ 박막 제조 시에 사용하는 기판표면의 원자배열, 즉 결정구조 및 방향성이 가장 중요하다. 즉, 기판표면의 구조는 기판위에 성장시키고자 하는 박막의 결정구조와 매우 비슷하여야 한다. 서로의 격자상수가 2.5% 이내가 좋다고 알려져 있다.

○ 단결정이 원자 주준의 평활성과 높은 구조 질서성을 공유한 표면을 얻을 수 있기 때문에 이상적인 기판이나, 값이 비싸고 크기의 제한과 난가공성 등의 문제가 있다. 본고에서는 나노시트의 2차원 방향의 결정표면을 이용하여 박막성장을 제어하는 방법을 제안하였다.

○ 나노시트는 층상 산화물을 화학적 방법으로 층간을 팽윤시켜 최소 구성단위인 각층까지 박리시켜 얻어지는 새로운 나노 크기의 물질이며 그 2차원 단위격자는 장방형 격자, 정방형 격자, 육각 격자 등 각종 구조가 있다. 따라서 원하는 구조를 갖는 나노시트를 기판 표면에 붙이면 그 구조에 따라 자유롭게 원하는 박막을 성장시킬 수 있다.

○ 나노시트를 만들기 위해서는 층상 결정을 층간 팽윤시켜 단층 박리시키거나 벽개하는 기술이 필요함으로 층간 화학(intercalation chemistry)에 관한 지식을 습득해 나가야 될 것이다.

○ 나노시트를 종자로 값싼 기판 상에 부여하여 그 위에 각종 박막을 자유롭게 성장시킬 수 있는 제어방법이 개발되어 값싸고 대면적을 얻기 쉬운 유리나 플라스틱, 금속 등을 기판으로 사용할 수 있는 길이 열렸다.

저자
Tatsuo Shibata, Takayoshi Sasaki
자료유형
학술정보
원문언어
일어
기업산업분류
재료
연도
2010
권(호)
45(2)
잡지명
セラミックス
과학기술
표준분류
재료
페이지
93~97
분석자
김*호
분석물
담당부서 담당자 연락처
이 페이지에서 제공하는 정보에 대하여 만족하십니까?
문서 처음으로 이동